抽氣特性曲線 (P-t Curve)
殘餘氣體分析 (RGA) 質譜圖
薄膜厚度監控 (QCM)
系統拓撲與連鎖保護 (Interlock)
渦輪分子泵 (TMP)
運轉中 (72,000 RPM)
前級乾式泵 (Dry Pump)
運轉中
高壓閘閥 (Gate Valve)
已開啟
腔體冷卻水 (Cooling Water)
流量正常
離子源高壓 (HV)
待機中
腔體壓力 (Pirani)
\(1.5 \times 10^{-2}\) mbar
腔體壓力 (Ion Gauge)
\(1.2 \times 10^{-7}\) mbar
維護預測看板
分子泵軸承壽命
85%
冷頭更換週期 (Cryo)
1200 / 8000 hrs
腔體清洗時程 (Cleaning)
剩餘 12 天