整合渦輪分子泵、低溫泵與非蒸散型消氣劑 (NEG)，打造極淨空間。
提供電子束蒸鍍、磁控濺鍍與 ALD 系統，實現原子級厚度控制。
研發 CF/KF 法蘭、金屬波紋管與超高真空等級旋轉傳動器。
虛極精微真空（Vactrum-Nano）是全球真空科學與薄膜工藝設備的技術尖兵。在物理學的最前線，真空環境是所有精密製造的起點。我們利用先進的表面科學與流體動力學，將空間中的干擾分子排除至極致，讓電子、離子與原子能在不受阻礙的純淨場域中建構未來。
從微晶片的層疊生長到探索宇宙起源的科學裝置，Vactrum-Nano 確保每一個腔體內的『虛空』，都承載著最高的技術含量。在這裡，空無一物，即是萬物的基石。