真空材料出氣率標準
材料選用是超高真空系統成敗的關鍵。
- 不鏽鋼 (304L/316LN)： 必須經過電解拋光與真空退火處理，以降低氫氣滲透與表面吸附。
- 鋁合金 (6061-T6)： 適用於高能物理實驗，具備低磁導率與良好的導熱性。
- 密封氟橡膠 (Viton)： 僅限於 KF/ISO 接口，UHV 等級必須使用金屬密封 (CF 法蘭)。
- 陶瓷絕緣： 採用高純度氧化鋁 (Al₂O₃)，確保在高溫烘烤下的絕緣性能。
HE 氦氣檢漏程序
符合國際標準的真空、吸槍檢漏流程。
| 檢漏等級 | 靈敏度 (mbar·L/s) | 適用場景 |
|---|---|---|
| Class A (UHV) | \(< 1 \times 10^{-11}\) | 半導體製程、粒子加速器 |
| Class B (HV) | \(< 1 \times 10^{-9}\) | 光學鍍膜、工業真空 |
| Class C (Rough) | \(< 1 \times 10^{-7}\) | 真空乾燥、包裝 |
ISO 21360 真空泵性能測試
對於抽速曲線與極限壓力判定的合規性說明。
Vactrum-Nano 生產的所有真空泵組均通過 ISO 21360 標準測試。我們提供完整的抽速曲線報告，涵蓋從大氣壓到極限壓力的全量程數據。對於渦輪分子泵，我們特別關注其對輕氣體 (H₂, He) 的壓縮比性能。
Certification ID
ISO-21360-VACTRUM-2026-CERT